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主营：真空设备及配件、电控装置、电源、密封件设计、制造、销售、维修；真空技术开发、咨询；仪表仪器、计算机销
咨询电话：
15140126694
| 价格 | ¥ 90000 |
| 起订量 | ≥1台 |
好货推荐
| 厂家 | 沈阳思联真空 | 型号 | SL270-2 |
| 用途 | 科研实验 |
PRODUCT DETAILS
SL270-2磁控溅射设备
设备用途：
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。配有阳极层离子源进行清洗和辅助沉积，同时设备具有反溅射清洗功能，以提高膜的质量和牢固度。
设备组成
系统主要由溅射真空室和传递室组成、永磁磁控溅射靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
采用单室立式上开盖结构，换样进样操作方便，不锈钢材料和真空材料。
技术指标：
1、温度（根据要求选配）
2、极限真空度：溅射室极限真空度≤5×10-5Pa；
3、抽速：40min工作真空度可达到：5×10-4Pa
4、压升率：停泵关机12小时后真空度≤10Pa；
5、系统漏率：5×10-10PaL/S；
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