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主营：真空设备及配件、电控装置、电源、密封件设计、制造、销售、维修；真空技术开发、咨询；仪表仪器、计算机销
咨询电话：
15140126694
| 价格 | ¥ 210000 |
| 起订量 | ≥9999台 |
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| 名称 | 蒸发镀膜设备 | 厂家 | 沈阳思联 |
| 型号 | SLZF400A |
PRODUCT DETAILS
手套箱蒸发镀膜机联合系统技术参数
镀膜室：尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，后门为侧开门；镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接
手套箱：提供器件构筑的无水无氧环境
2.1 标准单面双工位手套箱
2.2 箱体尺寸长≥2400 mm，宽（深）≥750 mm，高≥900 mm，箱体材质为304不锈钢，厚度≥3mm
2.3 透明安全钢化玻璃视窗（前面），厚度≥8mm；手套口均为高品质铝合金
2.4 四只丁基橡胶手套
2.5真空泵，抽速≥12 m3/h
2.6 配备进口氧分析仪（测量范围：0-1000 ppm，精度0.2 ppm）和进口水分析仪
2.7 配备冷阱，铜触媒≥ 5 kg，分子筛≥5 kg
2. 8 配备有机溶剂去除系统
2. 9 水氧指标≤1 ppm
2.10 泄漏率<0.001Vol%/h
2.11高性能循环风机和控制柜
复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计；
3.1极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)
3.2抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min；
3.3设备升压率：≤0.8Pa/h；
设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；
基片台：抽屉式结构，承载最大小于120×120mm基片；配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；手动升降，升降基片台可调节范围70mm；定制符合要求的掩膜板1套；
基片台加热：加热温度：300℃，PID智能温控闭环控制；
蒸发源：金属源：水冷铜电极2套；逆变式蒸发电源：功率3kW；2台（1台电源可切换不同蒸发源）；有机源：2套；蒸发源配气动挡板及源间防污隔板；
膜厚控制系统：晶振膜厚仪在线监测、控制终厚；单探头，配备原装晶振片一盒
控制方式：采用PLC+触摸屏半自动控制；
报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；
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