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主营：真空设备及配件、电控装置、电源、密封件设计、制造、销售、维修；真空技术开发、咨询；仪表仪器、计算机销
咨询电话：
15140126694
| 价格 | ¥ 90000 |
| 起订量 | ≥1台 |
好货推荐
| 产地 | 辽宁 | 可售卖地 | 全国 |
| 适用范围 | 广泛应用于各种高校研究所、实验室、工厂、车间 | 加工定制 | 是 |
| 颜色 | 银白色 | 型号 | SLck500 |
| 材质 | 不锈钢 | 发货地 | 辽宁沈阳 |
PRODUCT DETAILS
设备用途：
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。配有阳极层离子源进行清洗和辅助沉积，同时设备具有反溅射清洗功能，以提高膜的质量和牢固度。
设备组成
系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
采用单室立式上开盖结构，换样进样操作方便，不锈钢材料和真空材料。
技术指标：
1、0-1000摄氏度（根据要求选配）
2、极限真空度：溅射室极限真空度≤5×10-5Pa；
抽速：40min工作真空度可达到：5×10-4Pa
压升率：停泵关机12小时后真空度≤10Pa；
系统漏率：5×10-10PaL/S；
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