沈阳鹏程真空技术有限责任公司

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设备特点：

该系统为单室筒型前开门结构四源无机热蒸发系统，主要用来生长金属薄膜的研究工作，系统的具体配置如下：

1、系统采用单室筒型前开门结构，便于装料取样与日常维护。

2、样品台可以施加掩模。

3、样品尺寸：120×120mm。

4、真空室配有石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度控制，配备单个水冷石英晶振探头。

5、真空室放置4个热阻蒸发舟，配备蒸发电源2套，蒸发电源带转接功能即一个蒸发电源可以通过转接控制两组热阻蒸发舟

6、生长室真空获得系统采用国产分子泵（700L/S）+机械泵（8L/S）进行抽气；

7、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用国内最先进电化学抛光钝化处理工艺。

8、系统两路管道，便于抽空取样。

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价格	¥ 190000
起订量	≥1套

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