主营:机械设备研发、生产、销售;机械加工;系统集成;软件开发;办公用品销售。
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| 价格 | ¥ 500000.00 |
| 起订量 | ≥1台 |
好货推荐
| 型号 | DEC-800 | 型号 | DEC-1100 |
| 型号 | DEC-1500 | 型号 | DEC-1300 |
| 型号 | DEC-2000 | 真空机组 | 扩散泵加深冷 |
| 膜厚监控 | 工件架晶控 | 膜厚监控 | 可加配工件架光控 |
PRODUCT DETAILS
型号:DEC-800 DEC-1100 DEC-1500 DEC-1300 DEC-2000
真空室尺寸: Ф800x高1000 Ф1100x高11340 Ф1500x高1800 Ф1350x高1400 Ф2050x高1600
射频等离子源口径:18 26 40 26 40
成膜系统 :SE220单枪 SE220 双枪 SE220+SE320 SE220单枪 SE220双枪
真空机组: 扩散泵加深冷
膜厚监控:工件架晶控 可加配工件架光控
应用领域:半导体、集成电路、光学领域、光伏新能源领域、电子消费等。


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